Продукция

Неразборный фильтр МКФ-10

Назначение

Фильтр МКФ-10 предназначен для очистки технологических газов от высокодисперсных аэрозольных частиц, в том числе газов, применяемых в микроэлектронной промышленности.

Фильтр МКФ-10

Параметры фильтруемого газа

Давление на входе фильтра, атм. (psi) - не более 10 (143)температура, °С - от 5 до 50.

Рекомендуемый расход

До 3 нм³/ч (50 нл/мин). Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях 6 атм. (86 psi).

Степень очистки газов

Не менее 99,9999999 % для частиц размером более 0,01 мкм.

Чистота газа после фильтра:

Концентрация частиц размером более 0,01 мкм. - менее 0,03 частиц/литр.

Концентрация молекулярных примесей (воды, кислорода и других) - менее 10 ppb.

Локальная не герметичность корпуса

Не более 1·10^-3 л·Ч мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10±0,5) атм. [(143±7,1) psi] и температуре
(25±10) °С.

Применяемые материалы

Фильтрующий элемент - никель. Корпус - нержавеющая сталь, в том числе марки 316L по требованию заказчика.

Обработка внутренних поверхностей корпуса

Электрохимическое полирование.

Чистота обработки 0,63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0,13 Ra).

Площадь фильтрующей поверхности

10 см².

Подготовка к работе

Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100.

Упаковка

Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом.

Условия эксплуатации фильтра:

Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 °С.

Относительная влажность - не более 90 %.

Пространственная ориентация - произвольная.

Надежность

Рекомендуемая периодичность замены или регенерации фильтра МКФ-10 - 2 года.

Примечание. Расход газа указан при давлении 101,3 кПа и температуре 293,15 °К.